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澳亚国际9661--排气系统分类

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  澳亚国际9661,排气系统的分类您了解吗?下面咱们就这一问题具体的介绍一下:
 
  (1)一般排气:其来历于机台工作发热发生不含有害物质或是高温气体,但考虑无尘室空调负荷与过滤设备负荷,因而将废气以一般风车抽至大气排放至大气环境而不需处理。螺旋风管首要用于联通两地之间的空气流通,起到通风透气的效果。市面上运用最广泛的便是螺旋风管(不锈钢和镀锌板白铁皮原料)。通风管道因为铁皮简单在各种环境下发生化学反响,形成腐蚀、生锈。而锌在枯燥的空气中几乎不发生变化。在湿润的空气中,锌外表会生成细密的碱式碳酸锌膜。注:GEX选用澳亚国际9661,HEX选用SUS304酸排(SEX)、碱排(AEX)系统流程:
 
  (2)酸碱性排气:其首要来历于化学清洗工作站,清洗晶片时所发生之挥发性气体,此气体部分含有浓烟,部分则对呼吸系统有刺激性效果有害人体,故有必要通过Scrubber中水洗中和处理,再由风机排入大气。
 
  (3)有机溶剂(性状:通明,无色的液体)排气:其首要来历于涂胶、显影工序和各工序运用有机溶剂清洗过程时所发生,需经有机废气处理设备处理后,再由风机排入大气。
 
  (4)碱性剥离排气:首要来历为阵列工程的剥离工序所运用之剥离液,废气首要通过冷凝吸收器,将废气中的剥离液冷却下来,冷凝器(类别:换热设备)吸收处理后的废气所含的废气浓度会大为下降,然后送至Central Scrubber做水洗中和处理,再由风机排大气。
 
  (5)应急排气:当洁净室机大驾风管内探头感应气体浓度过高时,紧迫启用以使出产正常并保持室内环境。